日本信号在“微机械/MEMS展”上展出了外形尺寸约为90mm×55mm×20mm,相当于香烟盒大小的SVGA(分辨率:800×600像素)小型彩色投影机。上届展会该公司曾展出过相同分辨率的试制品,但外形尺寸约为180mm×120mm×50mm,相当于饭盒大小。此次,通过缩小透镜等光学系统以及扫描RGB三色激光的MEMS扫描仪的尺寸,使投影机体积缩小到了原来的约1/8。不仅尺寸缩小,图像质量进步也很显著,由此让人感觉到,基于MEMS扫描仪的小型投影机即将成为现实。
此次的试制品得到光学设备厂商的帮助,自主设计了透镜等光学部件。例如,作为对半导体激光器射出的光进行应变补偿的棱镜,采用了该公司试制的面向投影机的专用品。由此,相对上次展出的试制品,蓝色激光的光学距离缩短了约1/4。
另外,绿色激光的光源非此前的二极管泵浦固体激光(Diode Pumping Solid State:DPSS)而采用了半导体激光。由于激光本身采用了可高速调制的半导体激光,因此无需在采用DPSS时所配备的声光调制器(Acoustic Optical Modulator:AOM)。
该试制品还通过缩小MEMS扫描仪和调整电磁驱动磁铁的位置而进一步实现了MEMS扫描仪模块的小型化。在水平方向和垂直方向扫描激光的2个MEMS扫描仪的尺寸均为10mm×10mm×5mm。而上次试制品的MEMS扫描仪的尺寸分别为23mm×14mm×25mm和10mm×15mm×4.6mm。另外,磁铁的配置位置不似以往位于硅底板的外侧,而改在了硅底板的上部。
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投影机
文章来源:日经BP社